2020年中船重工七一八所四種高純電子氣體材料產(chǎn)能將居世界第一

本報訊5月18日，記者從中船重工七一八所特種氣體產(chǎn)品推介會暨一期項目投產(chǎn)、二期項目開工儀式上了解到，該項目總投資32億元，2017年4月開工建設(shè)。2020年全部達產(chǎn)達效后，將年產(chǎn)高純特種氣體2萬噸左右，年產(chǎn)值將突破45億元，三氟化氮、六氟化鎢、六氟丁二烯和三氟甲基磺酸四種產(chǎn)品產(chǎn)能將居世界第一。

高純特種氣體是半導體發(fā)光元器件產(chǎn)業(yè)、半導體高端存儲處理芯片等高端新興行業(yè)所急需的原材料，對打破美日壟斷，提升我國集成電路產(chǎn)業(yè)的核心科技水平和競爭能力具有重要意義。

據(jù)介紹，七一八所有50多年從事氣體相關(guān)產(chǎn)業(yè)的研發(fā)和生產(chǎn)經(jīng)驗。為打破國外廠商高純電子氣體在半導體領(lǐng)域的壟斷，他們積極跟蹤國際氟化工前沿技術(shù)，加大探索新技術(shù)研發(fā)新產(chǎn)品的步伐，先后開展六氟化鎢、高純氘氣、三氟甲磺酸系列產(chǎn)品等20多種高純特種氣體的研發(fā)工作，陸續(xù)投資1億多元，自主開發(fā)出六氟化鎢、氘氣、三氟甲磺酸、三氟甲磺酸酐等新產(chǎn)品，并申請專利34項，獲得授權(quán)18項。目前所有這些產(chǎn)品涉及關(guān)鍵核心技術(shù)40余項，均處于國際先進水平。據(jù)了解，目前，七一八所三氟化氮國內(nèi)市場覆蓋率達到95%以上，國際市場覆蓋率達到30%;六氟化鎢國內(nèi)市場覆蓋率達到100%，國際市場覆蓋率達到40%。

作為國家“02專項”氣體組項目的牽頭單位，七一八所已經(jīng)成功研制出四氟化硅、六氟乙烷、八氟丙烷、八氟環(huán)丁烷、氯化氫、氟化氫等9種高純氣體及10種混合氣體并成功進行了產(chǎn)業(yè)化，相關(guān)產(chǎn)品得到了中芯國際等半導體龍頭企業(yè)的測試認證。

會上，聯(lián)華電子股份有限公司、京東方科技集團股份有限公司、華潤微電子有限公司等客戶代表做了發(fā)言。臺積電、京東方、中芯國際、華星光電、三星、東芝等60多家半導體廠商代表參加會議。與會代表還參加了特氣項目產(chǎn)業(yè)發(fā)展研討對接會，就進一步開展合作、推進特種氣體及半導體行業(yè)發(fā)展進行了深入交流探討。